Theo những người trong ngành, các nhà máy bán dẫn Trung Quốc có thể phải đối mặt với những thách thức đáng kể về sản xuất vì Hà Lan cấm ASML bảo dưỡng một số thiết bị đáng tin cậy nhất của mình tại quốc gia châu Á này.

ASML (Hà Lan) là công ty cung cấp thiết bị sản xuất chip hàng đầu thế giới và hãng công nghệ có giá trị nhất châu Âu.

Đầu tháng 9, Bộ trưởng Thương mại và Phát triển Hà Lan - Reinette Klever đã công bố một thay đổi với lệnh kiểm soát xuất khẩu của nước này, yêu cầu ASML phải xin giấy phép bán máy quang khắc cực tím sâu (DUV) 1970i và 1980i cho khách hàng tại Trung Quốc.

Ngoài ra, theo bản tin của Reuters, ASML phải xin giấy phép bảo dưỡng cũng như cung cấp phụ tùng thay thế và bản cập nhật phần mềm cho các hệ thống quang khắc nhúng từng bán cho khách hàng Trung Quốc nhưng hiện đã bị hạn chế.

Động thái này nhằm mục đích điều chỉnh các quy định của Hà Lan cho phù hợp với các hạn chế thương mại chặt chẽ hơn của Mỹ có hiệu lực vào tháng 11.2023, nhắm vào Trung Quốc vì lý do an ninh quốc gia. Các hạn chế của Mỹ gồm cả dòng máy 1970i và 1980i. Bộ thương mại Trung Quốc phản đối quyết định của Hà Lan.

Nắm giữ vị thế gần như độc quyền về các thiết bị sản xuất chip tiên tiến nhất trên thế giới, ASML cho biết thay đổi này chỉ mang tính "kỹ thuật" và dự kiến sẽ không ảnh hưởng đến triển vọng tài chính của họ năm 2024. ASML từ chối bình luận về việc bảo dưỡng các thiết bị bị hạn chế tại Trung Quốc khi được trang SCMP liên hệ.

Dịch vụ bảo trì là rất quan trọng để duy trì hiệu suất sản xuất chip tốt tại các nhà máy. Các kỹ sư bảo trì phải luôn túc trực 24/7 trong trường hợp máy móc gặp sự cố. Tại Trung Quốc, 1980i đã trở thành thiết bị chính tại nhiều nhà máy bán dẫn do tính linh hoạt của nó, có thể bao phủ nhiều quy trình sản xuất chip khác nhau, theo các chuyên gia bán dẫn có kinh nghiệm.

Tác động ngắn hạn của việc mất quyền tiếp cận dịch vụ bảo trì có thể rất lớn với ngành công nghiệp chip Trung Quốc, theo một người quen thuộc với hoạt động của ASML, nhưng từ chối nêu tên khi thảo luận về các vấn đề kinh doanh riêng.

Kể từ khi thâm nhập thị trường Trung Quốc vào năm 1988, ASML đã lắp đặt hơn 1.000 thiết bị tại đây, gồm các công cụ quang khắc và giải pháp kiểm tra. Shen Bo, Giám đốc ASML tại Trung Quốc, cho biết điều này trong một cuộc phỏng vấn với tờ China Daily vào tháng 9.2023. ASML không tiết lộ có bao nhiêu trong số những thiết nị đó bị ảnh hưởng bởi các biện pháp kiểm soát xuất khẩu của Hà Lan.

Roger Dassen, Giám đốc tài chính ASML, nói hồi tháng 7 sau báo cáo kết quả kinh doanh quý 2/2024 rằng công ty vẫn "để mắt đến các công cụ" trong các nhà máy sản xuất chip do khách hàng Trung Quốc điều hành.

Tuy nhiên, bảo trì là vấn đề nhỏ hơn so với việc thiếu máy quang khắc tiên tiến mới. Nguồn tin thân cận với ASML cho biết việc bảo trì và tìm phụ tùng thay thế tương đối dễ hơn so với việc tự sản xuất các hệ thống quang khắc từ đầu.

Trung Quốc đại lục, thị trường lớn thứ hai của ASML tính theo doanh thu vào năm 2023 sau Đài Loan, trở thành đối tượng bị mở rộng kiểm soát xuất khẩu với các hệ thống quang khắc kể từ năm 2019.

ASML bị cấm vận chuyển đến Trung Quốc các hệ thống in thạch bản cực tím (EUV) tiên tiến nhất của mình, cần thiết để sản xuất chip nhỏ hơn 7 nanomet, cũng như các máy DUV nhúng, gồm 2100i, 2050i, 2000i, 1970i và 1980i, nếu không có giấy phép của Hà Lan.

Theo Paul Van Gerven - biên tập viên tạp chí công nghệ Bits&Chips (Hà Lan), các giấy phép hiện tại liên quan đến các công ty Trung Quốc nằm trong danh sách đen sẽ không còn được gia hạn và những đơn xin cấp phép trong tương lai sẽ bị từ chối. “Nếu Hà Lan bắt đầu phản kháng, Mỹ rất có thể sẽ đưa ra các hạn chế bổ sung của riêng mình”, Paul Van Gerven nhận định.

Việc xuất khẩu thiết bị DUV khô (máy thế hệ cũ sử dụng không khí thay vì nước để cải thiện độ phân giải khi in các mẫu mạch cực kỳ phức tạp lên các đĩa bán dẫn) hiện không bị hạn chế, Van Gerven nói thêm.

Trong quý 2/2024, lô hàng xuất khẩu của ASML đến khách hàng Trung Quốc đại lục đạt tổng cộng 2,35 tỉ euro (2,5 tỉ USD), chiếm gần một nửa doanh số hệ thống toàn cầu. Trong báo cáo thường niên năm 2023, ASML cho biết chỉ có thể đáp ứng được 50% đơn đặt hàng từ Trung Quốc do tồn đọng lớn.

Hôm 6.9, chính phủ Hà Lan cho biết sẽ mở rộng yêu cầu cấp giấy phép xuất khẩu cho một số thiết bị sản xuất chip của ASML, trên thực tế là lấy lại quyền giám sát chúng từ Mỹ và điều chỉnh chính sách hai nước.

Mỹ trước đây đơn phương quản lý các thiết bị sản xuất chip đó của ASML, như một phần trong chiến dịch hạn chế các hãng chip Trung Quốc tiếp cận công nghệ tiên tiến, vì chúng có thể đóng góp vào tiến bộ về công nghệ và quân sự cho cường quốc châu Á.

ASML cho biết không mong đợi sự thay đổi trong quyền giám sát các thiết bị này sẽ ảnh hưởng đến thu nhập năm 2024 hoặc trong tương lai.

"Tôi đưa ra quyết định này vì sự an toàn của chúng tôi. Chúng tôi thấy rằng do sự phát triển về công nghệ nên có nhiều rủi ro về an toàn hơn khi xuất khẩu các loại máy sản xuất đặc biệt này", Bộ trưởng Reinette Klever nói khi công bố thông tin cập nhật.

Trong khi Mỹ và Hà Lan vẫn đang đàm phán về chính sách xuất khẩu, quyết định hôm 6.9 là động thái thực tế có thể làm giảm bớt căng thẳng giữa hai chính phủ.

Các thiết bị được đề cập trong bài, 1970i và 1980i, nằm ở tầm trung trong danh mục sản phẩm của ASML.

Dưới áp lực của Mỹ, chính phủ Hà Lan chưa bao giờ cho phép ASML bán các máy EUV tốt nhất của mình đến khách hàng Trung Quốc. Song từ tháng 9.2023, Hà Lan đã bắt đầu yêu cầu Mỹ giấy phép để xuất khẩu công cụ DUV thuộc dòng NXT:2000 và các dòng cao cấp hơn cho Trung Quốc. ASML đã cảnh báo khách hàng Trung Quốc không nên mong đợi được giao các thiết bị đó từ năm 2024.

Vào tháng 10.2023, chính quyền Biden đã đơn phương bắt đầu hạn chế lô hàng máy DUV 1970i và 1980i của ASML, với lý do chúng chứa một số bộ phận của Mỹ.

Các thành viên Quốc hội Hà Lan đã đặt ra câu hỏi về những tác động với chủ quyền nước này, trong khi ASML phải vật lộn để theo kịp các yêu cầu cấp phép riêng biệt tại Mỹ và Hà Lan.

Bộ Thương mại Mỹ đã cập nhật các quy tắc xuất khẩu của mình hôm 5.9. Các quy tắc cập nhật của Hà Lan đã áp dụng cách diễn đạt từ Mỹ trong các đoạn văn có liên quan về quang khắc, lĩnh vực của ASML.

Các thiết bị ASML sử dụng tia laser để giúp tạo ra mạch nhỏ của chip.

Sự quan tâm đến 1980i và 1970i tăng lên sau thành công của các công ty Trung Quốc như SMIC trong việc sản xuất chip tiên tiến. Họ đã sử dụng hai công cụ này để xử lý các đĩa bán dẫn silicon nhiều lần, quá trình được gọi là "nhân bản mẫu". SMIC là hãng sản xuất chip số 1 Trung Quốc.

Tại sự kiện ở thành phố New York (Mỹ) hôm 5.9, Giám đốc điều hành ASML - Christophe Fouquet cho biết các hãng chip Trung Quốc sẽ có thể sản xuất chip ở tiến trình 7 nanomet, 5 nanomet và cuối cùng là 3 nanomet nếu sử dụng máy DUV tốt hơn các giới hạn do Mỹ đặt ra.

Tuy nhiên, Giám đốc điều hành ASML cho biết các nhà sản xuất chip Trung Quốc sử dụng kỹ thuật này sẽ phải chịu mức sản lượng ngày càng thấp. Việc đó chỉ là minh chứng về khả năng kỹ thuật nhưng không khả thi về mặt kinh tế, theo Christophe Fouquet.

Trung Quốc quảng bá hai máy sản xuất chip nội địa đạt được tiến bộ đáng kể nhưng vẫn kém xa ASML

Chính phủ Trung Quốc đang quảng bá hai máy sản xuất chip nội địa mà họ cho là đã đạt được những tiến bộ đáng kể, khi nước này nỗ lực hướng tới tự cung tự cấp công nghệ giữa các lệnh trừng phạt từ Mỹ.

Các máy quang khắc (in các mẫu mạch cực kỳ phức tạp lên các đĩa bán dẫn silicon) "đã đạt được những đột phá công nghệ đáng kể, sở hữu quyền sở hữu trí tuệ nhưng vẫn chưa được đưa ra thị trường", Bộ Công nghiệp và Công nghệ Thông tin Trung Quốc (MIIT) tuyên bố, nhưng không nêu tên công ty đứng sau hai máy này.

Một trong hai máy DUV hoạt động ở bước sóng 193 nanomet, với độ phân giải dưới 65 nanomet và độ chính xác phủ dưới 8 nanomet, theo danh sách mới về "thiết bị công nghệ chính" do MIIT công bố. Theo danh sách, máy DUV còn lại có bước sóng 248 nanomet, độ phân giải 110 nanomet và độ chính xác phủ 25 nanomet.

Hai máy DUV này vẫn còn kém xa so với các sản phẩm tiên tiến nhất hiện có trên thị trường. Ví dụ, một trong những máy DUV tiên tiến nhất của ASML có thể hoạt động ở độ phân giải dưới 38 nanomet với độ chính xác phủ 1,3 nanomet.

Máy DUV cũng kém xa máy EUV, sử dụng ánh sáng có bước sóng chỉ 13,5 nanomet, sắc nét hơn gần 14 lần so với 195 nanomet của DUV.

Trung Quốc đã dành nhiều năm theo đuổi mục tiêu tự cung tự cấp công nghệ trong lĩnh vực bán dẫn, nhưng tiến độ sản xuất các hệ thống quang khắc cần thiết để sản xuất hàng loạt chip tiên tiến đáng tin cậy vẫn còn chậm.

Hầu như tất cả máy DUV ở Trung Quốc vẫn đến từ ASML. Công ty Hà Lan đã cắt đứt quyền tiếp cận của khách hàng Trung Quốc với các máy EUV tiên tiến. Chưa hết, Mỹ gây áp lực ngày càng tăng để ASML không bán các máy DUV cho khách hàng tại Trung Quốc.

Doanh nghiệp nhà nước Shanghai Micro Electronics Equipment Group (SMEE), hy vọng lớn nhất của Trung Quốc để phát triển các hệ thống quang khắc tiên tiến của riêng mình, vẫn còn kém xa ASML và các đối thủ trên thế giới. Theo các chuyên gia, SMEE (bị Mỹ đưa vào danh sách đen thương mại hồi tháng 12.2022) sẽ cần có những đột phá trên nhiều công nghệ và mạng lưới nhà cung cấp để vượt qua các hạn chế.

Thế nhưng, SMEE đã đạt được một số tiến bộ bất chấp các lệnh trừng phạt từ Mỹ. Tháng 3.2023, công ty Trung Quốc đã nộp bằng sáng chế cho "máy phát tia EUV và thiết bị khắc quang", theo dữ liệu đăng ký doanh nghiệp được công bố tuần này.

Sơn Vân