Mỹ nghi máy sản xuất chip tiên tiến nhất của ASML xuất hiện ở Trung Quốc
ASML đang phải đối mặt với thách thức lớn nhất từ trước đến nay từ chính quyền Tổng thống Donald Trump.
Trong hàng loạt cuộc họp gần đây với ban lãnh đạo cấp cao ASML, Bộ trưởng Thương mại Mỹ Howard Lutnick nêu mối lo ngại rằng một trong những máy sản xuất chip tiên tiến nhất của công ty Hà Lan có thể đã xuất hiện ở Trung Quốc, vi phạm các lệnh kiểm soát xuất khẩu do Mỹ dẫn đầu.
Cụ thể hơn, ông Howard Lutnick bày tỏ quan ngại về các hệ thống quang khắc cực tím bước sóng siêu ngắn (EUV) của ASML, theo hãng tin Bloomberg.
Máy EUV thường được TSMC, Samsung sử dụng để sản xuất chip tiên tiến quy mô lớn cho các khách hàng như Nvidia, AMD và Apple.
ASML chưa bao giờ được phép xuất khẩu máy EUV sang Trung Quốc do các biện pháp hạn chế được áp đặt từ nhiệm kỳ đầu tiên của ông Trump.
ASML phản bác Bộ trưởng Thương mại Mỹ
ASML đã phản bác nhận định từ Howard Lutnick, giải thích rằng không có bất kỳ hệ thống EUV nào của hãng đang ở Trung Quốc. Theo các nguồn tin, những cỗ máy này có kích thước tương đương một chiếc xe buýt trường học, được sản xuất với số lượng rất hạn chế và luôn cần đội ngũ kỹ sư ASML bảo trì thường xuyên.
Khi được hỏi về các cuộc họp, người phát ngôn của ASML cho biết công ty thường xuyên trao đổi với các chính phủ trên thế giới và khẳng định chưa từng giao máy EUV nào cho Trung Quốc.
Hiện chưa rõ chính quyền Trump thực sự muốn ASML cung cấp điều gì. Công ty Hà Lan đang rơi vào tình thế khó khăn khi phải chứng minh rằng không có máy EUV nào xuất hiện tại Trung Quốc. Cũng chưa rõ loại bằng chứng hay thông tin nào từ ASML có thể khiến Mỹ chấm dứt nghi ngờ.
Trong khi đó, Bộ Thương mại Mỹ không trả lời nhiều câu hỏi liên quan đến vụ việc, gồm cả việc liệu cơ quan này có bất kỳ bằng chứng nào cho thấy một máy EUV đang hiện diện tại Trung Quốc hay không.
Những lo ngại kéo dài từ các quan chức cấp cao trong chính quyền Trump đang làm gia tăng áp lực với ASML - công ty có giá trị vốn hóa lớn nhất châu Âu. Trước đây, ASML từng phải đối mặt với các cáo buộc từ phía Mỹ rằng hoạt động kinh doanh của họ làm suy yếu các mục tiêu an ninh quốc gia và chính sách công nghệ của Washington. Nếu ASML không thể xoa dịu những lo ngại này, căng thẳng có thể tiếp tục ảnh hưởng đến mối quan hệ vốn đã nhiều bất đồng giữa Mỹ và Liên minh châu Âu (EU).
Người phát ngôn ASML cho biết: “ASML thường xuyên tham gia đối thoại minh bạch và cởi mở với các nhà lãnh đạo chính phủ trên toàn cầu. Chúng tôi hiểu những cân nhắc về an ninh quốc gia đằng sau các quy định kiểm soát xuất khẩu từ Mỹ và Hà Lan, đồng thời hoàn toàn cam kết tuân thủ mọi quy định hiện hành”.
Người này cũng nhấn mạnh rằng: “ASML trước đây nhiều lần bác bỏ những tin đồn vô căn cứ về việc không tuân thủ các quy định kiểm soát xuất khẩu liên quan đến Trung Quốc. Đó là những thông tin sai lệch và gây tổn hại đến danh tiếng của công ty”.

Song theo một số nguồn tin của Bloomberg nắm rõ các cuộc thảo luận, nội bộ ASML đã chuyển sang trạng thái ứng phó khẩn cấp. Sau cuộc họp với Howard Lutnick hồi tháng 4, công ty Hà Lan đã soạn thảo và lưu hành tại Washington một tài liệu có tiêu đề: “Không có dấu hiệu nào cho thấy bất kỳ hệ thống EUV nào của ASML đang ở Trung Quốc”.
Theo tài liệu mà hãng tin Bloomberg tiếp cận được, hiện có 314 hệ thống EUV đang hoạt động trên toàn cầu, 26 đã ngừng sử dụng và không có máy nào ở Trung Quốc.
“ASML có khả năng tự động phát hiện mọi sự gián đoạn, hành vi bất thường hoặc mất kết nối với các hệ thống EUV của mình. Khách hàng không thể tháo dỡ, vận chuyển hoặc di dời các hệ thống EUV mà không có sự tham gia của ASML do quy trình xử lý đặc biệt phức tạp”, theo tài liệu.
Hồi tháng 2, ASML tiết lộ máy EUV thế hệ tiếp theo của hãng là EUV High-NA đã sẵn sàng để các công ty đưa vào sản xuất chip quy mô lớn, đánh dấu một bước tiến lớn cho ngành công nghiệp bán dẫn. Máy EUV High-NA sẽ hỗ trợ các nhà sản xuất chip thực hiện đúng lộ trình phát triển chip AI nhằm đáp ứng nhu cầu đang tăng vọt.
Theo hãng tin Reuters, máy EUV High-NA của ASML có giá khoảng 400 triệu USD, gấp đôi máy EUV ban đầu.

Rào cản lớn nhất với Huawei
Việc không được tiếp cận công nghệ EUV được xem là rào cản lớn nhất với Huawei, doanh nghiệp đang dẫn đầu nỗ lực phát triển chip AI của Trung Quốc để cạnh tranh với Nvidia. Gần đây, lãnh đạo mảng bán dẫn tại Huawei đã giới thiệu những thành tựu của công ty trong việc sản xuất chip mà không cần sử dụng máy EUV của ASML. Đây là một trong số ít lần Huawei trình bày vấn đề này bằng tiếng Anh trước công chúng.
Không thể tiếp cận những thiết bị sản xuất chip tiên tiến nhất thế giới do các lệnh hạn chế xuất khẩu công nghệ từ Mỹ, Huawei đề xuất một hướng đi mới cho ngành bán dẫn: Ngừng ám ảnh với việc thu nhỏ transistor và thay vào đó tập trung vào việc tăng tốc độ truyền dữ liệu trong toàn bộ hệ thống.
Bà Hà Đình Ba, Chủ tịch bộ phận kinh doanh bán dẫn của Huawei, đã công bố Định luật Mở rộng Tau tại Hội nghị chuyên đề quốc tế về mạch và hệ thống của Viện Kỹ thuật Điện và Điện tử (IEEE) ở Thượng Hải hôm 25/5.
Trong nhiều thập kỷ, Định luật Moore cho rằng tiến bộ của chip đồng nghĩa với việc thu nhỏ transistor, để nhồi nhét được nhiều transistor hơn trên cùng một diện tích silicon, từ đó tăng hiệu năng và giảm chi phí sản xuất. Định luật này được đặt theo tên Gordon Moore, nhà đồng sáng lập Intel từng nhận thấy mật độ transistor trong ngành bán dẫn có xu hướng tăng gấp đôi sau khoảng hai năm.
Định luật Mở rộng Tau của Huawei đi theo hướng khác. Ý tưởng cốt lõi là người dùng không quan tâm transistor nhỏ đến đâu, mà là máy tính hoàn thành công việc nhanh đến mức nào.
Điều này bao gồm các độ trễ phát sinh khi dữ liệu di chuyển trong hệ thống điện tử, từ bên trong transistor, dọc theo dây dẫn, qua bộ nhớ cho tới giữa các chip và cụm máy chủ ở trung tâm dữ liệu.
Theo Huawei, nếu giảm được độ trễ này, các kỹ sư vẫn có thể tạo ra những chip mạnh hơn ngay cả khi không tiếp tục thu nhỏ transistor.
Việc sản xuất chip với transistor ngày càng nhỏ phụ thuộc rất lớn vào các thiết bị chế tạo tiên tiến, đặc biệt là máy quang khắc. Tuy nhiên, Trung Quốc hiện vẫn không được phép mua các máy EUV tiên tiến nhất từ ASML.
Khung lý thuyết của Huawei cho rằng thiết kế chip thông minh hơn, kiến trúc xếp chồng theo chiều dọc và kết nối tốc độ cao có thể giúp thu hẹp khoảng cách hiệu năng mà không cần những máy EUV này. Nếu thành công, đây có thể là bước ngoặt quan trọng với ngành bán dẫn Trung Quốc.
Tuy nhiên, không phải ai cũng tin rằng những con số Huawei công bố phản ánh đầy đủ thực tế.
Leslie Wu, Giám đốc điều hành công ty tư vấn bán dẫn RHCC, cho rằng mức tăng mật độ transistor mà Huawei công bố đã bị phóng đại. Theo ông, Huawei đạt được con số này bằng cách xếp chồng nhiều lớp mạch lên nhau rồi tính tổng số transistor trên cùng một diện tích bề mặt. Vì vậy, đây chủ yếu là sự gia tăng mật độ nhờ thiết kế 3D, chứ không phải bước đột phá thực sự trong công nghệ chế tạo transistor trên một lớp chip duy nhất.
Do đó, Leslie Wu cho rằng thành tựu này chưa đủ để hỗ trợ cho tuyên bố của Huawei rằng Định luật Mở rộng Tau có thể giúp hãng sản xuất các chip tương đương chip 1,4 nanomet tiên tiến vào năm 2031.
Ngoài ra, tích hợp 3D và đóng gói tiên tiến cũng không phải công nghệ độc quyền của Huawei.
“Đây là bước đột phá với Huawei, nhưng không phải mối đe dọa cho TSMC”, ông Jensen Huang, Giám đốc điều hành Nvidia, nói với các phóng viên tại Đài Loan hôm 28/5.
“TSMC đã sử dụng công nghệ xếp chồng khuôn chip và đóng gói 3D từ gần 10 năm nay. Công nghệ của họ hiện rất tiên tiến”, Jensen Huang nhận xét. TSMC (Đài Loan) là hãng sản xuất chip theo hợp đồng số 1 thế giới.
Mỹ tiếp tục gây sức ép lên ASML khi cuộc chiến kiểm soát công nghệ bán dẫn với Trung Quốc leo thang
Nếu thực sự có máy EUV nào xuất hiện tại Trung Quốc, đây sẽ là một trong những vụ vi phạm nghiêm trọng nhất từng được biết đến với các biện pháp hạn chế do Mỹ dẫn đầu nhằm ngăn cường quốc châu Á tiếp cận các công nghệ AI có thể phục vụ mục đích quân sự.
Bloomberg đã hỏi các quan chức cấp cao trong chính quyền Trump rằng nếu họ thực sự có bằng chứng về điều này thì tại sao chính phủ Mỹ chưa áp dụng các biện pháp trừng phạt hoặc chính sách mạnh tay hơn. Tuy nhiên, các quan chức này từ chối bình luận.
Trong nhiều năm qua, ASML liên tục phải đối mặt với các hạn chế ngày càng gia tăng với hoạt động kinh doanh tại Trung Quốc, khi Mỹ gây sức ép lên Hà Lan và Nhật Bản nhằm ngăn dòng chảy thiết bị sản xuất chip tới một đối thủ địa chính trị. Mỹ, Hà Lan và Nhật Bản hiện là nơi đặt trụ sở của những nhà sản xuất thiết bị bán dẫn hàng đầu thế giới. Dù đã đạt được một số tiến bộ, các công ty Trung Quốc vẫn chưa bắt kịp các đối thủ quốc tế, đặc biệt trong lĩnh vực quang khắc khi ASML giữ vị thế dẫn đầu toàn cầu.
ASML là hãng duy nhất trên thế giới chế tạo máy EUV và hiện nắm khoảng 90% thị phần thiết bị quang khắc toàn cầu.
Trên thực tế, Hà Lan và Nhật Bản thường chậm hơn Mỹ trong việc áp dụng các biện pháp kiểm soát và cũng từ chối thực hiện một số quy định nghiêm ngặt. Ví dụ, họ không cấm kỹ sư của mình bảo trì và sửa chữa các thiết bị đã được lắp đặt ở Trung Quốc, trong khi các cá nhân và doanh nghiệp Mỹ bị cấm thực hiện công việc này.
Các nhà sản xuất thiết bị bán dẫn của Mỹ như Lam Research, KLA Corporation, Applied Materials cho rằng sự khác biệt đó khiến họ rơi vào thế bất lợi trong cạnh tranh.
Ngoài ra, còn tồn tại sự khác biệt giữa các quy định mà doanh nghiệp Mỹ và nước ngoài phải tuân thủ khi bán hàng cho các công ty Trung Quốc nằm trong danh sách đen thương mại (danh sách thực thể) của Mỹ. Danh sách này áp đặt các biện pháp kiểm soát nghiêm ngặt hơn với từng doanh nghiệp cụ thể so với các quy định áp dụng chung cho toàn bộ Trung Quốc.
Ví dụ, Mỹ gần như đã cắt đứt mọi dòng công nghệ chảy vào Huawei và sử dụng các quyền hạn ngoài lãnh thổ để mở rộng những hạn chế này sang cả các công ty nước ngoài, trong đó có ASML.
Tuy nhiên, các quy định hiện hành vẫn cho phép một số hoạt động kinh doanh nhất định giữa doanh nghiệp nước ngoài và các công ty Trung Quốc khác nằm trong danh sách thực thể. Một ví dụ là đối tác của Huawei mang tên SwaySure Technology, doanh nghiệp được bổ sung vào danh sách này từ năm 2024.
Các quan chức cấp cao trong chính quyền Trump nói ASML đang cung cấp hỗ trợ công nghệ cho SwaySure Technology nhằm giúp công ty Trung Quốc này tăng khả năng chống chịu trước các quy định hạn chế từ Mỹ. Tuy nhiên, họ không cung cấp thêm chi tiết. Phía SwaySure Technology cũng không phản hồi khi được đề nghị bình luận.
Dù vậy, cần lưu ý rằng Mỹ hoàn toàn có đủ công cụ pháp lý để buộc ASML chấm dứt hoàn toàn mọi hoạt động với SwaySure Technology, nhưng chính quyền Trump đến nay vẫn chưa sử dụng các công cụ đó.
Thực tế, chính phủ Mỹ vẫn đang gặp khó khăn trong việc xây dựng một chiến lược nhất quán và rõ ràng với các biện pháp kiểm soát xuất khẩu thiết bị sản xuất chất bán dẫn.