Trung Quốc ồ ạt mua máy DUV của ASML, người Mỹ kêu gọi cấm xuất khẩu hoàn toàn
Các cựu quan chức Mỹ cảnh báo cần cấm hoàn toàn xuất khẩu máy quang khắc tia cực tím sâu (DUV), nếu Washington muốn kiềm chế năng lực sản xuất chip của Trung Quốc về lâu dài.
Dù không tiên tiến bằng EUV (quang khắc tia cực tím bước sóng siêu ngắn), máy DUV có thể được điều chỉnh để sản xuất chip logic 7 nanomet và bộ nhớ tiên tiến dùng cho bộ xử lý AI.
Theo các cựu quan chức Mỹ, các nhà máy bán dẫn Trung Quốc đã tích lũy hàng trăm máy DUV nhúng trị giá hàng tỉ USD trong những năm gần đây. Họ kêu gọi Mỹ và các đồng minh ngăn chặn những lô hàng xuất khẩu tiếp theo.
DUV nhúng là công nghệ DUV sử dụng một lớp nước siêu tinh khiết giữa thấu kính cuối cùng của máy và bề mặt wafer, thay vì để khoảng không khí như ở máy DUV thông thường. Lớp nước này giúp ánh sáng hội tụ tốt hơn, nhờ đó có thể in các chi tiết nhỏ hơn và chính xác hơn trên chip.
Theo báo cáo công bố vào cuối tháng 9 của Centre for Technology & Statecraft (CTS) - nhóm nghiên cứu có trụ sở tại Washington (Mỹ) được thành lập vào tháng 8, các nhà máy bán dẫn thuộc sở hữu Trung Quốc đã mua khoảng 343 hệ thống DUV nhúng tính đến đầu năm 2026.
Báo cáo do Nicholas Brown (cựu quan chức phụ trách kiểm soát xuất khẩu của Mỹ) cùng Saif Khan (cựu cố vấn chính sách công nghệ tại Nhà Trắng và Bộ Thương mại Mỹ) đồng thực hiện.
Nghiên cứu này bổ sung dữ liệu mới cho cuộc tranh luận tại Washington về việc liệu các đồng minh phương Tây có nên áp đặt lệnh cấm hoàn toàn với máy DUV nhúng xuất khẩu sang Trung Quốc hay không.
Các công ty sản xuất chip Trung Quốc đã phụ thuộc nhiều vào máy DUV nhúng
Sau khi bị cấm mua các máy EUV tiên tiến nhất của ASML (Hà Lan), các công ty sản xuất chip Trung Quốc đã phụ thuộc nhiều vào hệ thống DUV nhúng. Một số mẫu máy DUV nhúng hiện vẫn nằm ngoài phạm vi các lệnh cấm xuất khẩu của phương Tây và có thể được sử dụng để sản xuất các loại chip bán dẫn tiên tiến.
Báo cáo ước tính khoảng 270 máy trong số các thiết bị mà các nhà máy thuộc sở hữu Trung Quốc mua là DUV ngâm Twinscan NXT:1980i của ASML.
Dù về mặt công nghệ vẫn đứng sau EUV, các máy này có thể được điều chỉnh để sản xuất chip logic thế hệ 7 nanomet và các loại bộ nhớ tiên tiến dùng cho bộ xử lý trí tuệ nhân tạo, gồm cả dòng chip Ascend của Huawei, theo các tác giả.
Theo báo cáo, các nhà máy chip Trung Quốc đã chi hơn 13 tỉ USD để mua khoảng 90 thiết bị NXT:1980i vào năm 2024 và thêm 89 máy trong năm 2025.
Quy mô mua sắm được cho là này cũng thể hiện trong các báo cáo tài chính của ASML.
Theo điểm đến giao hàng, Trung Quốc chiếm 41% tổng doanh thu bán thiết bị của ASML trong năm 2024 và 33% vào 2025. Tuy nhiên, tỉ trọng này giảm xuống còn 19% trong quý I/2026 và 14% vào quý II/2026.
ASML trước đó giải thích rằng lượng thiết bị giao sang Trung Quốc tăng mạnh trong năm 2024 một phần do công ty phải giao bù các đơn hàng tồn đọng vì chuỗi cung ứng gặp khó khăn trước đó.
Hà Lan bắt đầu yêu cầu giấy phép xuất khẩu với các hệ thống NXT:2000i và những máy DUV nhúng tiên tiến hơn của ASML từ tháng 9/2023. Những mẫu máy này sau đó về cơ bản đã bị chặn xuất khẩu sang Trung Quốc. Một năm sau, Hà Lan mở rộng yêu cầu cấp phép sang NXT:1980i, nhưng việc xuất khẩu mẫu máy này vẫn có thể được phê duyệt theo từng trường hợp cụ thể.
Quan chức Mỹ đề xuất cách bịt lỗ hổng
Báo cáo cho rằng cách tiếp cận này đã để lại một lỗ hổng lớn. Các tác giả cảnh báo rằng ngay cả những thiết bị được bán cho các quy trình sản xuất chip ở các công nghệ cũ cũng có thể được chuyển đổi mục đích sử dụng hoặc di chuyển sang các dây chuyền sản xuất chip tiên tiến.
Để bịt lỗ hổng này, các tác giả đề xuất cấm hoàn toàn việc xuất khẩu mọi thiết bị DUV ngâm sang Trung Quốc, đồng thời hạn chế cung cấp phụ tùng thay thế và dịch vụ bảo trì tại các cơ sở sản xuất tiên tiến. Họ cũng đề nghị Washington phối hợp với Hà Lan hoặc đơn phương mở rộng các quy định kiểm soát xuất khẩu của Mỹ với những hệ thống do nước ngoài sản xuất nhưng sử dụng công nghệ của Mỹ.
Đề xuất này phù hợp với sức ép ngày càng tăng tại Quốc hội Mỹ.
Đạo luật Match Act, được giới thiệu hồi tháng 4 với sự ủng hộ của cả hai đảng, nhằm hạn chế trên phạm vi toàn Trung Quốc việc bán và bảo dưỡng các thiết bị sản xuất chip mà Trung Quốc khó có khả năng tự tạo ra trong nước, gồm cả nhắm cụ thể đến các máy DUV nhúng. Các thượng nghị sĩ Mỹ tiếp tục kêu gọi thông qua dự luật này trong tháng 9 và Saif Khan đã công khai ủng hộ dự luật hồi đầu năm 2026.
Tác động ngay lập tức vì các nhà máy chip Trung Quốc
Theo các tác giả, việc ngừng xuất khẩu sẽ ít gây tác động ngay lập tức vì các nhà máy chip Trung Quốc đã tích lũy được một lượng lớn thiết bị nhập khẩu. Song về dài hạn, sự khác biệt sẽ rất đáng kể.
Theo kịch bản lý thuyết mở rộng nhất của nghiên cứu, nếu Trung Quốc khắc phục được các điểm nghẽn khác trong quá trình sản xuất chip và tiếp tục nhập khoảng 90 máy NXT:1980i mỗi năm, máy DUV của nước này có thể hỗ trợ sản xuất tới 434 triệu chip AI mỗi năm vào năm 2035, tương đương về năng lực với chip Nvidia H100.
Ngược lại, nếu ngừng nhập khẩu các máy mới từ năm 2027, mức trần công suất này sẽ chỉ còn 153 triệu chip AI, theo nghiên cứu.