Công ty Mỹ ra mắt công cụ giảm chi phí in thạch bản chip

Kỹ thuật in thạch bản dùng chùm tia sáng tạo đường nét trên đĩa bán dẫn, có thể diễn ra hàng chục lần trên một đĩa. Mỗi lần đĩa phải trải qua quá trình phức tạp để lắng đọng vật liệu, đo lường để đảm bảo đường nét được in chính xác, sau đó khắc vật liệu tạo ra bóng bán dẫn cùng các bộ phận khác.

Khi đường nét mỏng đạt chuẩn, đơn vị sản xuất vẫn cần thực hiện thêm vài thủ thuật. Một trong số này là khắc một đường nét hai lần.

Công cụ mới tên Centura Sculpta của Applied Materials chỉ chiếu chùm tia sáng một lần cho đường nét đầu tiên rồi khắc đường nét cuối cùng từ đó.

“Chúng tôi tạo ra một plasma rồi định hình nó vào một chùm điện tĩnh, sau đó hướng chùm điện tĩnh vào đĩa bán dẫn loại bỏ chính xác các vật liệu để thay đổi đường nét”, chuyên gia Steven Sherman đứng đầu đội ngũ phát triển Centura Sculpta giải thích.

Ông nhấn mạnh bỏ bớt được dù chỉ một lần in thạch bản cũng giúp tiết kiệm tiền, năng lượng lẫn nước. Ước tính mỗi lần sử dụng Centura Sculpta các đơn vị sản xuất có thể tiết kiệm khoảng 250 triệu USD chi phí vốn cho một cơ sở chế tạo năng suất 100.000 đĩa bán dẫn mỗi tháng.

Applied Materials cho biết hãng chip Intel hợp tác chặt chẽ với họ để tối ưu hóa và sử dụng công cụ Centura Sculpta. Công ty từ chối công bố danh tính khách hàng khác.