Hai giám đốc quốc tịch Mỹ tại Advanced Micro-Fabrication Equipment (AMEC), nhà cung cấp thiết bị sản xuất chip hàng đầu Trung Quốc, đã từ chức khi căng thẳng thương mại Mỹ - Trung tiếp tục leo thang.
AMEC được coi là niềm hy vọng lớn nhất của Trung Quốc để sản xuất các công cụ khắc và lắng đọng tiên tiến nhằm cắt giảm sự phụ thuộc vào các nhà cung cấp nước ngoài.
Ni Tuqiang và Yang Wei (đều là công dân Mỹ) không còn là "nhân sự kỹ thuật cốt lõi" tại AMEC vì "lý do cá nhân", nhưng cả hai vẫn là người của công ty này. AMEC (được niêm yết tại thành phố Thượng Hải, Trung Quốc) vừa cho biết thông tin này trong hồ sơ nộp lên cơ quan quản lý.
Số lượng "nhân sự kỹ thuật cốt lõi" của AMEC, gồm cả Chủ tịch kiêm Giám đốc điều hành Gerald Yin Zhiyao (quốc tịch Mỹ), đã giảm từ 9 xuống còn 7 sau những động thái điều hành mới nhất, công ty cho biết.
Những thay đổi trên “sẽ không có tác động tiêu cực đáng kể” đến tiến độ nghiên cứu và phát triển, năng lực hoạt động hoặc khả năng cạnh tranh của AMEC, công ty thông báo.
AMEC không nêu rõ vị trị mới mà Ni Tuqiang và Yang Wei sẽ đảm nhiệm. Ni Tuqiang cũng từ chức Phó chủ tịch AMEC.
Vào tháng 10.2022, Bộ Thương mại Mỹ đã công bố các biện pháp hạn chế với “những người Mỹ hỗ trợ phát triển hoặc sản xuất chip tại một số cơ sở chế tạo chất bán dẫn đặt tại Trung Quốc nếu không có giấy phép”. Động thái bất ngờ này khiến hàng chục giám đốc người Mỹ tại các công ty chip Trung Quốc phải vật lộn để xác định xem họ có phải chịu các hạn chế hay không.
Những thay đổi nhân sự mới nhất tại AMEC diễn ra trong bối cảnh ngành công nghiệp bán dẫn Trung Quốc đang phải đối mặt với các cuộc xung đột địa chính trị leo thang. Cụ thể hơn, Mỹ cân nhắc thêm những biện pháp nhằm hạn chế quyền tiếp cận công nghệ chip tiên tiến do lo ngại về các rủi ro an ninh quốc gia.
Trong báo cáo thường niên năm 2023 được công bố vào tháng 3.2024, AMEC đã không nêu quốc tịch Mỹ của ông Gerald Yin Zhiyao, như trong các báo cáo thường niên trước đó. Gerald Yin Zhiyao (80 tuổi) từng làm việc tại Mỹ cho Intel, Lam Research and Applied Materials trước khi thành lập công ty riêng tại Trung Quốc vào năm 2004.
Dù Trung Quốc vẫn chậm hơn Mỹ nhiều năm về mặt tinh vi trong các công cụ sản xuất chip, chuỗi cung ứng chất bán dẫn của nước này có thể đạt được "mức độ tự cung tự cấp cơ bản" vào mùa hè này, bất chấp những khoảng cách về chất lượng và độ tin cậy, Gerald Yin Zhiyao cho biết trong một cuộc thảo luận vào tháng 7.
Chuyên gia kỳ cựu trong ngành chip này tin tưởng Trung Quốc có thể bắt kịp các công ty dẫn đầu trong ngành sản xuất chip trong vòng 5 đến 10 năm nữa.
“Tôi nghĩ rằng chúng ta cần ít nhất 10 năm để tìm ra giải pháp, nhưng với những nỗ lực chung của hàng trăm công ty hai năm qua, chúng ta có thể đạt được khả năng tự cung tự cấp cơ bản vào mùa hè này”, ông Gerald Yin Zhiyao nói trong một cuộc thảo luận về thiết bị bán dẫn Trung Quốc. Video về cuộc thảo luận đã được Đài phát thanh Trung ương Trung Quốc (China National Radio) đăng tải trực tuyến.
Gerald Yin Zhiyao tiết lộ 60% các bộ phận được sử dụng trong công cụ khắc của AMEC được mua sắm trong nước, còn 80% các thành phần được dùng trong công cụ lắng đọng hơi hóa chất kim loại hữu cơ có từ nguồn cung cấp tại địa phương. Tuy nhiên, Trung Quốc vẫn còn một chặng đường dài để thay thế được tất cả công cụ sản xuất chip nhập khẩu.
“Trong lĩnh vực công cụ sản xuất chip, Trung Quốc vẫn còn kém xa so với các nước dẫn đầu toàn cầu”, Gerald Yin Zhiyao nói. Các công cụ sản xuất chip nội địa chiếm khoảng 15 đến 30% tổng số công cụ tại những nhà máy chip ở Trung Quốc. Hệ thống quang khắc, công cụ cấy ion và hệ thống kiểm tra chùm electron là những lĩnh vực yếu nhất của các công ty Trung Quốc, theo Gerald Yin Zhiyao.
Công cụ cấy ion là một thiết bị chuyên dụng trong sản xuất chip bán dẫn. Nó được sử dụng để đưa các nguyên tử tạp chất (dopants) vào bên trong một chất bán dẫn (thường là silicon) một cách chính xác và có kiểm soát. Quá trình này được gọi là cấy ion.
Hệ thống kiểm tra chùm electron là thiết bị khoa học sử dụng chùm electron có năng lượng cao để tương tác với bề mặt của một mẫu vật. Bằng việc phân tích các tín hiệu phát ra từ quá trình tương tác này, chúng ta có thể thu được rất nhiều thông tin về cấu trúc, thành phần hóa học và các đặc tính khác của mẫu vật ở cấp độ vi mô và nano.
Vào tháng 1, Bộ Quốc phòng Mỹ đã thêm một số công ty Trung Quốc, gồm cả AMEC, vào danh sách "Công ty quân sự Trung Quốc (CMC)", với lý do các hãng này đe dọa đến an ninh quốc gia và cấm họ làm ăn với một số công ty Mỹ.
Đến tháng 8, AMEC cho biết đã đệ đơn kiện Bộ Quốc phòng Mỹ vì đã chỉ định công ty này là CMC mà không có cơ sở pháp lý và gây ra thiệt hại "nghiêm trọng và không thể khắc phục" cho họ.
Tuy nhiên, hoạt động kinh doanh của AMEC vẫn đang mở rộng, do nhu cầu trong nước mạnh mẽ với các công cụ sản xuất chip địa phương. Doanh thu cả năm 2023 của AMEC đã tăng 32,1% so với cùng kỳ năm trước lên mức 6,26 tỉ nhân dân tệ (879 triệu USD).
Gần đây, AMEC thông báo doanh thu trong 6 tháng đầu năm 2024 đã tăng 36,4% so với cùng kỳ 2023 lên mức 3,4 tỉ nhân dân tệ.
Trung Quốc quảng bá 2 máy sản xuất chip nội địa đạt được tiến bộ đáng kể, nhưng vẫn kém xa ASML
Chính phủ Trung Quốc đang quảng bá hai máy sản xuất chip nội địa mà họ cho là đã đạt được những tiến bộ đáng kể, khi nước này nỗ lực hướng tới tự cung tự cấp công nghệ giữa các lệnh trừng phạt từ Mỹ.
Các máy quang khắc (in các mẫu mạch cực kỳ phức tạp lên các đĩa bán dẫn silicon) "đã đạt được những đột phá công nghệ đáng kể, sở hữu quyền sở hữu trí tuệ nhưng vẫn chưa được đưa ra thị trường", Bộ Công nghiệp và Công nghệ Thông tin Trung Quốc (MIIT) tuyên bố, nhưng không nêu tên công ty đứng sau hai máy này.
Một trong hai máy quang khắc cực tím sâu (DUV) hoạt động ở bước sóng 193 nanomet, với độ phân giải dưới 65 nanomet và độ chính xác phủ dưới 8 nanomet, theo danh sách mới về "thiết bị công nghệ chính" do MIIT công bố. Theo danh sách, máy DUV còn lại có bước sóng 248 nanomet, độ phân giải 110 nanomet và độ chính xác phủ 25 nanomet.
Hai máy DUV này vẫn còn kém xa so với các sản phẩm tiên tiến nhất hiện có trên thị trường. Ví dụ, một trong những máy DUV tiên tiến nhất của ASML (Hà Lan) có thể hoạt động ở độ phân giải dưới 38 nanomet với độ chính xác phủ 1,3 nanomet. ASML là công ty cung cấp thiết bị sản xuất chip hàng đầu thế giới và là hãng công nghệ có giá trị nhất châu Âu.
Máy DUV cũng kém xa máy in thạch bản cực tím (EUV), sử dụng ánh sáng có bước sóng chỉ 13,5 nanomet, sắc nét hơn gần 14 lần so với 195 nanomet của DUV.
Nanomet là đơn vị đo chiều dài cực nhỏ, được sử dụng để đo kích thước của các thành phần bên trong chip. Khi bạn thấy các con số như 7 nanomet, 5 nanomet hay 3 nanomet trong thông số kỹ thuật của chip, đó chính là cách để chỉ ra kích thước của các bóng bán dẫn (transistor) bên trong nó.
Vì sao kích thước nanomet lại quan trọng?
Kích thước càng nhỏ, hiệu năng càng cao: Khi các bóng bán dẫn càng nhỏ, chúng ta có thể tích hợp được nhiều bóng bán dẫn hơn vào cùng một diện tích chip.
Điều này dẫn đến:
- Tăng tốc độ xử lý: Chip có nhiều bóng bán dẫn hơn sẽ thực hiện được nhiều phép tính hơn trong cùng một khoảng thời gian.
- Giảm tiêu thụ điện năng: Bóng bán dẫn nhỏ hơn tiêu thụ ít điện năng hơn.
- Giảm kích thước chip: Chip nhỏ gọn hơn giúp thiết bị điện tử trở nên nhỏ bé và nhẹ nhàng hơn.
- Đo lường độ phức tạp của công nghệ sản xuất: Các quy trình sản xuất chip với kích thước nanomet càng nhỏ càng đòi hỏi công nghệ sản xuất phức tạp và chính xác cao.
Ví dụ, chip 7 nanomet nghĩa là các bóng bán dẫn bên trong chip đó có kích thước trung bình khoảng 7 nanomet. Chip 3 nanomet nghĩa là các bóng bán dẫn bên trong chip đó có kích thước trung bình khoảng 3 nanomet. Rõ ràng chip 3 nanomet sẽ có hiệu năng cao hơn, tiêu thụ ít điện năng hơn và nhỏ gọn hơn so với chip 7 nanomet.
Tóm lại, nanomet là thông số quan trọng để đánh giá hiệu năng của chip. Kích thước nanomet càng nhỏ, chip càng mạnh mẽ và hiệu quả.
Trung Quốc đã dành nhiều năm theo đuổi mục tiêu tự cung tự cấp công nghệ trong lĩnh vực bán dẫn, nhưng tiến độ sản xuất các hệ thống quang khắc cần thiết để sản xuất hàng loạt chip tiên tiến đáng tin cậy vẫn còn chậm.
Hầu như tất cả máy DUV ở Trung Quốc vẫn đến từ ASML. Công ty Hà Lan đã cắt đứt quyền tiếp cận của khách hàng Trung Quốc với các máy EUV tiên tiến. Chưa hết, Mỹ gây áp lực ngày càng tăng để ASML không bán các máy DUV cho khách hàng tại Trung Quốc.
Doanh nghiệp nhà nước Shanghai Micro Electronics Equipment Group (SMEE), niềm hy vọng lớn của Trung Quốc để phát triển các hệ thống quang khắc tiên tiến riêng, vẫn còn kém xa ASML và các đối thủ trên thế giới. Theo các chuyên gia, SMEE (bị Mỹ đưa vào danh sách đen thương mại hồi tháng 12.2022) sẽ cần có những đột phá trên nhiều công nghệ và mạng lưới nhà cung cấp để vượt qua các hạn chế.
Thế nhưng, SMEE đã đạt được một số tiến bộ bất chấp các lệnh trừng phạt từ Mỹ. Tháng 3.2023, công ty Trung Quốc đã nộp bằng sáng chế cho "máy phát tia EUV và thiết bị khắc quang", theo dữ liệu đăng ký doanh nghiệp được công bố tuần này.